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중국 업체, EUV 노광 장비 핵심 광원 시제품 공개

미국의 첨단 반도체 장비 수출 규제에 맞서 중국 업체가 자체 개발한 극자외선 노광장비 핵심 광원 시제품을 공개했습니다. 업체 측은 국산화율이 90%에 달한다고 밝혔으나, 실제 상업적 양산까지는 최소…