중국 업체, EUV 노광 장비 핵심 광원 시제품 공개

미국의 첨단 반도체 제조 장비 수출 통제에 맞서 기술 자립을 추진 중인 중국에서 극자외선, 즉 EUV 노광 장비의 핵심 부품 시제품이 공개됐습니다.

중화권 매체들에 따르면 중국 업체 랑다오쑤이옌은 상하이에서 열린 공업박람회에서 자체 개발한 EUV 광원 시스템 시제품을 처음 선보였습니다.

현지 매체들은 이 부품이 노광 장비의 심장과도 같다며, 지금까지 공개된 중국 국산 제품 가운데 기술적으로 가장 앞서 있다고 평가했습니다.

업체 측은 해당 시스템의 부품 국산화율이 90%에 달하며, 웨이퍼 노광 테스트를 진행할 수 있는 수준이라고 설명했습니다.

하지만 실제 상업용 양산 단계에 이르기까지는 앞으로 3년에서 5년 정도의 시간이 더 필요하다고 덧붙였습니다.

상업용 장비에 요구되는 고출력 달성과 장시간 가동 시의 안정성 확보가 여전히 해결해야 할 주요 과제로 꼽히고 있습니다.

현재 네덜란드 ASML이 독점 생산 중인 EUV 노광 장비는 미국의 제재로 인해 대중국 수출이 전면 차단된 상태입니다.

이 장비는 7나노 이하 첨단 반도체 제조의 핵심 장비인 만큼, 수출 규제를 돌파하려는 중국의 독자 개발 시도는 계속 이어질 전망입니다.